半導體制程廠區與設備環境 AMC 監測解決方案

方案概述
在人工智能和高效能運算需求的推動下，在第四代半導體材料與芯粒技術的發展下， 芯片線寬已由 70nm 迅速進入 7nm 以下時代。30nm 以下的生產過程中，痕量氣態分 子污染物（AMC）檢測的重要性，已上升到前所未有的高度。
AMC 監測的痕量精準化、監測全面化、大數據自動分析化，AI 智能管控化理念的引 入，對降低 AMC 造成的良率沖擊，起到至關重要的作用。
北京博賽德科技有限公司自主研發生產的 BCT-AMC系列，半導體制程環境監測系統， 涵蓋在線監測、實驗室分析、機臺現場溯源分析等多個場景的，更多有機物物種的精確 全定量分析，分析過程高度自動化與集成化，配合專用的 AMC 污染數據庫與處置方案庫， 在 AI 技術的加持下，真正解決品管部與微污染控制部的切實問題。
 
典型場景


 
1、制程點 - 在線自動化 AMC（VOCs）精準分析系統

生產監測點布點在線監測：
• 使用超凈 PFA 采樣管進行廠區布點，監測范圍可達 35000m2~75000m2
• 自動采樣、濃縮、GC-MS 分析、云端存儲、AI 自動生成檢測報告，并帶有超閾報警功能
• 7×24 小時排程自動化監測
• 全流程全部件惰性化涂覆，避免殘留與吸附
• 專利設計的捕集系統與聚焦系統，大幅提升檢出線，峰形更銳利
 
2、疑似點 - 實驗室 AMC（VOCs）精準分析系統

疑似點手工采樣實驗室分析：
• 系統用于實驗室中，基于捕集能力強、去除雜質能力強、抗吸附能力強、進樣精確度高、各氣路專用、全流程無冷點、清洗徹底等特點，共同作用，得到更低的檢出限
• 未知成分分析定量：系統可對樣本進行物質全分析
• 專為半導體企業開發的 AMC（VOCs）物質檢測方法包
• 檢測時效性強：快速定性定量污染物質，及時發掘 AMC（VOCs）污染源頭
 
晶圓石英加熱爐，加熱揮發進樣：
• 專為半導體企業開發的 AMC（VOCs）物質檢測方法包
• 檢測時效性強：快速定性定量污染物質，及時發掘 AMC（VOCs）污染源頭

3、工作臺 - 便攜式 AMC（VOCs）精準分析系統

工作臺 - 污染溯源分析：
• 分析快速
      單質譜走航模式，儀器不經過色譜柱直接進入質譜，秒級分析，實時出具數據。
• 靈敏度高
      針對性溯源，靈敏度更高：單質譜模式，秒級響應，實時動態顯示污染情況， 必要時可篩選離子使用 SIM 模式開展針對性走航。
      膜進樣技術使得樣品進入質譜前可以進行二次富集，提高靈敏度
• 溯源精準
      全新走航模式，深入車間，直指源頭
       相對傳統走航設備質量更輕、抗震性更強，在傳統走航的基礎上可進一步進入車間，精準溯源至污染產生工藝點位，幫助企業實現污染點的治理。
• 結果準確
        雙重工作模式：走航模式 +GC-MS 定點分析模式
        使用 70eV EI 源 + 四級桿質譜定性定量，充分電離空氣中的 VOCs，依托標準 NIST 譜庫，準確定性；國標加持，結果與實驗室可比。
• 環境適用性強
     非機械泵真空系統，環境適用性更強
     摒棄高速旋轉組件，采用非機械真空泵，解決多維大幅振動中無法運行檢測等問題。
數據結果與檢測譜圖

半導體制程廠區與設備環境 AMC 監測解決方案介紹完畢，欲了解更多信息，請聯系我們 ！